半導(dǎo)體設(shè)備電子氣體質(zhì)量流量計及流量控制器

背景簡述：

-- 半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊

材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。

一、ACU20FD-LH 半導(dǎo)體設(shè)備電子氣體質(zhì)量流量計及流量控制器 產(chǎn)品概述：

1、精度更高，響應(yīng)更快，帶網(wǎng)口；

2、管狀分流，不易堵塞；

3、適用于各種低壓和高壓管道；

4、預(yù)熱時間短，零漂小，可靠性高；

5、模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機(jī)控制和顯示流量；

6、數(shù)字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協(xié)議可選；

二、產(chǎn)品應(yīng)用：

真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導(dǎo)體 / 石油石化精細(xì)化工 / 電力冶金 / 環(huán)保

食品包裝 / 生物醫(yī)藥 / 新材料 / 工業(yè)制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統(tǒng)

三、ACU20FD-LH 半導(dǎo)體設(shè)備電子氣體質(zhì)量流量計及流量控制器 產(chǎn)品參數(shù)：

量程范圍：2SCCM～300SLM

準(zhǔn) 確  度：±0.5%F.S

線       性：±0.5%F.S

重復(fù)精度：±0.2%F.S

響應(yīng)時間：流量計：＜0.1s；流量控制器：<0.2s

數(shù) 字  量：RS232/485，MODBUS協(xié)議 （Profibus、Devicenet等協(xié)議可選）

模 擬  量：0～5V、4-20mA、1～5V

供       電：±15VDC，24VDC

工作溫度：0～50℃

工作壓降：<0.01Mpa(流量計）

工作壓差：0.1~0.5Mpa （流量控制器）

耐       壓：3MPa/10MPa

漏       率：1×10-9SCCSHe

溫度系數(shù)：±0.025%F.S/℃

底座材質(zhì)：不銹鋼

封材質(zhì)：氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，聚四氟乙烯，F(xiàn)FKM/FFPM，金屬密封等

接       頭：φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"… …卡套、VCR等。。。

如果所需性能要求與上述性能不同，可以溝通定制。